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“兵家必争”的CMP工艺中,对硅晶圆或其它衬底材料平坦化处理,需要把大颗粒径的产品过滤,保留有效工作的颗粒进行研磨,达到最优化的流体动力学状态。杭州大立的滤芯有优异的颗粒截留性能,提高客户的生产成本效益。 厂务系统需要为整个FAB稳定地提供洁净化学品、超纯水以及洁净工艺气体。这就对各段使用滤芯的稳定性及一致性过滤效果提出了高要求。杭州大立的大流量滤芯、保安滤芯、高精度折叠滤芯以及全氟滤芯产品系列,为厂务系统提供稳定过滤的服务。 平板显示制造过程中,过滤产品的性能直接影响成品的质量以及良率,尤其在高世代线中,过滤产品的问题会造成大批量的报废和损失。杭州大立过滤针对各段工艺的要求为客户提供稳定可靠的产品,分析解决各制程问题,优化产品,降低成本。产品的问题会造成大批量的报废和损失。杭州大立过滤针对各段工艺的要求为客户提供稳定可靠的产品,分析解决各制程问题,优化产品,降低成本。 动力系统需要长时间不间断地工作,为高世代平板显示制造提供洁净化学品、超纯水以及洁净的工艺气体,这就对过滤的稳定性提出了很高要求。杭州大立的过滤产品为平板显示制造动力系统平稳运行提供可靠的保障。 洁净电子化学品作为半导体生产制造的关键材料,在半导体的生产过程中起着关键的作用,各种不同特性的电子化学品对过滤产品的要求各有不同,对过滤产品的洁净度,低析出有着严苛的要求。大立公司使用先进的设备及工艺,对过滤产品进行严格的洁净度的管控,生产低析出,低金属离子产品。 |